반도체,디스플레이

LCD/OLED 전공정 중 코팅 후 열처리 장비로, 핫 플레이트 및 쿨 플레이트 시스템을 적용하여
흄 제어(Fume Control)와 악취(Odor) 확산 방지가 가능하며, 배관의 간결화로 유지보수성이 뛰어남

Temp. Range H/P : Ambient ~ 150 ℃


Temp. Range C/P : 23 ℃


Temp. Uniformitiy H/P : ± 1 %


Temp. Uniformitiy C/P : ± 0.5 %


Heating Unit : Mica Heater & Line Heater


Loading/Unloading : Robot 반송 System


Panel Size : 2G ~ 8G Glass