반도체,디스플레이

LCD/OLED의 메인 공정인 노광기 투입 전에 불규칙한 판넬의 온도를
일정하게 제어하여 제품의 품질을 높이는 장비


Temp. Range : 21 ~ 25℃


Temp. Stability : ± 0.05℃


Temp. Uniformity : ± 0.1℃


Cleanliness : 100 Class


Panel Size : 2.5G ~ 11G Glass